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透射電子顯微鏡TEM

概要:

詳情

　　1、項目介紹：

　　TEM透射電鏡的分辨率比光學顯微鏡高得很多，電子束穿過超薄樣品后投射在TEM成像探測器上。包括TEM（投影）和STEM（電子束掃描）兩種成像模式，可分析物質的精細結構、原子排列、化學特性、晶體方向等。

　　2、應用優勢：

　　200kV電子源，分辨率0.12nm，放大倍率150X-230MX，Dual-XEDX探頭分辨率高，可實現高分辨STEM成像，EDX定量更準確。滿足單個晶體管成像，薄膜厚度精確測量，OLED有機物成像&分布，設備多，實現每天30顆產能。

　　3、其他服務：

　?。?）針對硅基/玻璃基樣品、FIB制備、In-situ制備、Ex-situ制備，可實現樣品平面PV+截面XS，不同尺寸分析；滿足單個晶體管制備，指定失效位置制備，任意位置制備、超薄<30nm樣品制備。

　?。?）針對三五族GaNGaAsInp樣品、FIB制備、In-situ制備、Ex-situ制備，實現樣品平面PV+截面XS，不同尺寸分析；滿足指定失效位置制備，任意位置制備、超薄<30nm樣品制備，超大>30nm樣品制備。

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